UIH-3D卤素灯光源装置日本INTECS

UIH-3D卤素灯光源装置日本INTECS

目的，用途

UIH-3D通常，对半导体晶片，掩模玻璃等进行目视检查会发现划痕，灰尘，内部异物和气泡。

发现需要技巧。开发该设备是为了方便进行这些检查。

通过用高强度的光照射物体（* 1），会产生切痕现象，并且会产生划痕，灰尘等。

您可以检查灰尘，内部异物，气泡等的附着力。

* 1半导体晶片，掩模玻璃，光学零件，透镜等

一种用于无损测量半导体晶片横截面形状尺寸的设备。您可以测量晶圆边缘的尺寸，角度和半径UIH-3D

超高輝度検査用照明装置（ＵＩＨ－３Ｄ型） 

 目視検査用の超高輝度照明装置

ＵＩＨ－３Ｄ型仕様

※１　ランプ保護の為、主電源スイッチをＯＦＦにしてもランプハウス内の温度が約40℃以下になるまで
　　　 ファンによる冷却を保持する機能

 撮像管タイプの半導体ウエハー断面形状等測定装置（ＶＳＳＷ）をご使用のお客様に朗報！

 半導体ウエハーの断面形状寸法を非破壊で計測するための装置でエッジの寸法、角度、半径を測定することが出来ます。
測定可能なウエハーサイズは約２～１２インチで、ウエハー交換作業も容易に行えます

照明设备超高亮度检查使用手册

用于超高亮度检查的照明装置，型号名称UIH（超高强度卤素灯）

感谢您购买该系列。

请仔细阅读本手册，以大程度地发挥仪器的性能。

§1。目的和整体构成

该仪器是用于目视检查的超亮照明设备。 UIH-1,2,3类型是常见的

用于目视检查半导体晶片，掩模玻璃，光学部件等，表面划痕，灰尘或内部

通过照射高强度光来进行潮汐检测，以发现零件中的异物和气泡

（TYNDALL）它诱导大象并促进发现。

1H型系列不同，用于检查抛光晶片的雾度（雾量）和照射表面

这是投射第3条的检查标记的方法。

至于整体配置，所有这四种类型都分为两部分，一个是灯箱，另一个是电源单元。要么

至于支架，电源部分中只有1（H）型是自支撑式的，而第二和第三类型则使用独立的支架。

我是。各种类型的辐照直径，高度和角度均可自由调节。

§2。仪器特点

本仪器使用由我们专门设计和调整的特殊高强度卤素灯。这些

卤素灯在使用时具有用于照明，灭火和冷却方法的先进技术。

是必须的。即，如果忽略适合于灯的方法，则灯的寿命将大大缩短。因此电源

该零件旨在充分展示灯泡的功能。

镜头使用大直径非球面镜头，并具有专门为此仪器设计的制造方法，其亮度也达到了

除了1H类型以外，由于将其设置为0.71至0.92，我们成功提高了亮度。 1个

与其他强调亮度的聚光镜相比，将H型设定为具有强调成像的亮度。下属

投影出具有良好分辨率的检查标记。此外，所有型号的设计辐射直径几乎都是平行的。

光束增强了检查能力。

此外，应采取所有可能的措施来散热，尤其是对于类型2和类型3，要监测灯室内的发热并发生异常。

产生热量时，灯泡将被强制关闭。另外，请参阅附件中的外形图。

 §３．仕様 本器の仕様は次の通りです。 尚、（ ）内は１Ｈ型のみの仕様です。 名 称 超高輝度検査用照明装置 ［Ultra Intensity Halogen-light］ 形 式 ＵＩＨ－１(Ｈ) ＵＩＨ－２ ＵＩＨ－３ ラ ン プ 定 格 １５Ｖ １５０Ｗ １００Ｖ ３００Ｗ １００Ｖ ６５０Ｗ 高輝度寿命 ５０時間以上 ７５時間以上 ７５時間以上 半 輝 度 寿 命 ８００時間以上 １０００時間以上 １８００時間以上 反 射 鏡 径 ５０mm径放物線型ダイクロックミラー 同１００mm径 設計照射径と距離 ４０mmφで１８０mm ７０mmφで２００mm １００mmφで２７０mm 設計照射径輝度 上記中央で６０万lux（５万lux） 同４０万lux 同３０万lux ５０万lux時照射径 約 ４５mmφ 約 ６０mmφ 約 ８０mmφ

 倍径時距離, 輝度 ３６０mm,１５万lux ４００mm,１０万lux ５６０mm,７､５万lux 輝度偏差と可変幅 高輝度偏差は上限１０％、下限２０％で可変幅は１０：１以上 レ ン ズ φ＝３８ Ｆ＝０.９２ （Ｆ＝２） φ=７０ Ｆ=０.７８ 電 源 方 式 トランス式 セミトランス式 調 光 方 式 ＳＣＲ位相制御 ＳＣＲ制御で５０／６０Ｈｚ自動切り替え ス タ ン ド 自立型 独立型 冷 却 方 法 強制空冷式 電 圧 表 示 メーター指示 ダイヤルにて設定 点 灯 方 式 ﾊﾛｹﾞﾝﾗﾝﾌﾟに適したｽﾛｰｱｯﾌﾟ,ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ方式 防熱フィルター なし １段 発 熱 監 視 なし 異常加熱(2型約100℃ 3型約130℃)により強制消灯 冷却自動スイッチ なし 消灯後一定温度(約40℃)迄下がると自動停止 合 計 重 量 ７Ｋｇ ９Ｋｇ １３Ｋｇ 外 形 ７ページ参照 

如何组装该仪器

如附图所示，此系列对于三个参与方中的每个都有不同的形式。查看每种类型的图纸

我将考虑考虑进行解释。

4-1组装1（H）型在1（H）型中，电源单元也用作支架。

将较长的轴插入电源的上法兰，然后将底部和法兰螺钉总共固定3个点。

我会。接下来，将短轴在任何位置拧入灯箱的底板，然后用夹具将其固定。

去做。此时，请考虑重力平衡和灯罩的可加工性进行组装。抽水

将螺丝刀等插入门另一端的孔中以将其固定。连接器的电源插头是电源

确保未连接并安装完成。仅1（H）类型的大亮度

带有调整修剪器。方法是将光量调节旋钮“ INTENSITY”设置为“ MAXIMUM”。

将灯泡开关设置为“ LAMP ON”时，将背面的“ SUB-INTE”设置为大电压为15V。

设置在不超过的范围内。出厂时已将其调整为50Hz的12V。

4-2类型2的组件类型2分为三个部分：支架，电源和灯箱。

首先，考虑到重力平衡和可操作性，将轴安装在机架上的三个孔之一中。

与1（H）型一样，灯罩的轴固定在底板上，并带有夹具。

将其固定到船尾。将电源放在支架上或支架上，连接连接器，然后完成。

我会。

4-3组装类型3与类型2一样，类型3分为支架，电源和灯罩。

我会。至于支架的组装，与类型2一样，竖立轴时要考虑平衡性和可加工性。

与其他类型不同，类型3灯罩特别大，因此请注意重量平衡。

请。组装时，将轴穿过灯箱底板上梯形金属配件的孔，并用4个螺丝将其固定。

用夹具将其安装到支架轴上。将电源放在支架上或支架周围

连接Nector并完成

仪器的基本操作

由于照明方法的不同，本机的操作在类型1（H）和类型2和3之间有所不同。所有产品都是正确的

注意轮廓图的照射距离和直径。

5-1 1（H）型操作电源装置中央的旋钮“ INTENSITY”作为电源开关加倍，为“ PO”。

如果从“ WER OFF”将其向右旋转，您会听到喀哒声，并且指示灯会亮起，并且灯泡将被预热并变暗。

我会。接下来，将光量选择器开关从'STANDING BY'更改为'LAMP ON'和'INTENSITY'旋钮。

您可以调节光量。当灯熄灭时，将光量选择器开关设置为“ STANDING BY”以提高冷却效果。

请在几分钟后“关闭电源”以摆脱它。

5-2 2型和3型的操作2型和3型的操作非常容易，操作员可以打开电源开关。

您所要做的就是按下gar开关。首先，打开电源开关“ POWER”并运行霓虹灯

Pu发出红色光。然后按下触发开关“ LAMP ON / OFF”，“ MONITOR”灯将点亮。

它变成绿色，并且灯箱的灯同时点亮。在这种状态下灯箱内部异常

加热时，将“监视器”更改为红色，强行关闭灯泡，并在灯泡冷却至一定程度时

此时，红色指示灯熄灭，可以再次打开。另外，如有必要，电压调节器“ INTENSITY”

转。 *电源电压为AC100V时，旋钮位置约为9.5，这是高亮度。

要关闭灯泡，请再次按“ LAMP ON / OFF”按钮以关闭灯泡。开启或关闭时

关闭电源后，风扇将继续旋转，直到冷却至一定温度为止。冷却进度

“ MONITOR”将闪烁红色，直到开关自动停止。

5-3聚焦调整和亮度此项目与以前的型号相同。调焦位于灯箱的顶端

转动聚焦环进行调整。放置工件并用光照射时，会发出圆形光。

转动环，使其轮廓清晰可见。聚焦对于1H类型是否特别重要？

请注意照射直径由聚焦环和照射距离决定，亮度由照射直径和行程决定。

这取决于电压。即，当灯电压恒定时的亮度与照射距离（面积）的平方相反。

成比例的。因此，如果优先考虑亮度，则好将其设置为较小的直径

用例和应用

该仪器是用于目视检查的超亮照明设备。通常半导体晶圆和块

为了目测玻璃表面的划痕和灰尘或内部的异物和气泡，请目视检查玻璃等。

它要求非常高的技能。这些检查被明亮的光线照亮

（TYNDALL）诱发现象并使任何人都容易进行。

使用此设备的示例是不透明的镜面，例如半导体晶片；（1）该表面暴露于一定角度的光下。

如何去除眼睛的反射光进行检查（2）对角向表面施加光并将反射光施加至白墙或

如何在白色天花板上投影，以及如何投影透明材料（例如玻璃）

可以同时检查表面和内部。另外，②使用特殊检查方法在墙壁上使用特殊的筛网。

通过在样品和样品之间插入特殊的透镜，可以进一步改善效果。

当然，这些只是一般用法示例，但是当前情况是每个公司都使用自己的方法进行检查。

现实情况是它们本身被用作专有技术。我们建议您设计各种东西。

1H型在系列中有所不同，用于检查抛光晶片的雾度（浑浊）量。 JIS-

在H0614的镜面检查方法中，采用投射灯丝的方法，但是1H

在模具中，投影了三个标记而不是丘陵。由于此标记的亮度不同

检查是。也就是说，无法在完美的镜面上看到该标记，并且由于标记不完整，因此看起来更好。

我会

另外，该标记与周围的亮度差异很大，易于进行雾度检查，并且除该标记以外的其他周围环境

由于用高强度光照射，因此可以同时进行表面检查。

§7。生活与光明

寿命是大亮度寿命和半亮度寿命的参考值，因此电源电压

意味着它将波动很大。另外，亮度与照射面积成反比，因此寿命长。

如果您主要考虑的是，请尽可能减小照射面积，并随灯电压降低增加的亮度。

这将是有利的。为了延长使用寿命，请降低灯泡电压，并且不要将亮度提高到不必要的程度。

请这样做。

§8。使用注意事项

本节介绍使用注意事项，因此，请在充分理解后再使用很长时间。

1）灯泡是生活用品。要长期使用，请降低灯泡电压并集中使用。

是个好主意。不要忘记准备备件！ !!

1）我们已采取一切可能的措施从灯罩中产生热量，但是特别是类型3产生的热量为650W。

因为有，在一个小的暗室中室温可能会升高。您需要足够的冷却

我们开始做吧。

3）由于长期使用，灯箱周围会产生一些热量。调焦环

触摸外壳时请小心。

4）指示灯点亮时，请勿强烈冲击。当然，它是严格坚持运动的。

5）仅适用于2和3型，请在灯关闭后显示“ MONITOR”灯时拔下电源插头。

请不要成对拔出。当温度降至安全温度时，电源将自动关闭。

6）在灯罩外盖打开的情况下进行照明会影响冷却效果，并导致设备损坏。

请不要这样做。

7）灯箱和电源是组合调整的，因此如果更改组合

不会满足