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UIH-3D卤素灯光源装置日本INTECS

更新时间:2020-10-20

简要描述:

UIH-3D卤素灯光源装置日本INTECS
一种用于无损测量半导体晶片横截面形状尺寸的设备。您可以测量晶圆边缘的尺寸,角度和半径

型号:厂商性质:经销商浏览量:63
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域环保

UIH-3D卤素灯光源装置日本INTECS

 

目的,用途

 

UIH-3D通常,对半导体晶片,掩模玻璃等进行目视检查会发现划痕,灰尘,内部异物和气泡。

发现需要技巧。开发该设备是为了方便进行这些检查。

通过用高强度的光照射物体(* 1),会产生切痕现象,并且会产生划痕,灰尘等。

您可以检查灰尘,内部异物,气泡等的附着力。

* 1半导体晶片,掩模玻璃,光学零件,透镜等

一种用于无损测量半导体晶片横截面形状尺寸的设备。您可以测量晶圆边缘的尺寸,角度和半径UIH-3D

超高輝度検査用照明装置(UIH-3D型) 

 目視検査用の超高輝度照明装置

UIH-3D型仕様

ランプ定格100V 650W
設計照射径と距離ランプ鏡筒先端から270mmでφ100mm
高輝度上記照射径中央にて約30万ルクス
50万ルクス時の照射径約φ80mm
倍径時距離と輝度560mm 約7.5万ルクス
輝度偏差と可変幅高輝度偏差:上限10%、下限20%  可変幅 10:1以上
高輝度ランプ寿命75時間以上
半輝度ランプ寿命1800時間以上
調光方式SCR制御(50/60Hz自動切り替え)
ランプハウス内冷却ファンによる強制空冷方式
ランプハウス内発熱監視約130℃を超えるとランプを強制消灯
ランプハウス冷却保持(※1)有り
電源AC100V セミトランス式
総重量約13kg

※1 ランプ保護の為、主電源スイッチをOFFにしてもランプハウス内の温度が約40℃以下になるまで
    ファンによる冷却を保持する機能

 

 撮像管タイプの半導体ウエハー断面形状等測定装置(VSSW)をご使用のお客様に朗報!

 

 半導体ウエハーの断面形状寸法を非破壊で計測するための装置でエッジの寸法、角度、半径を測定することが出来ます。
測定可能なウエハーサイズは約2~12インチで、ウエハー交換作業も容易に行えます

 

測定範囲

大厚み約2000μm(※1)
深さ約1500μm

表示器19インチ液晶ディスプレイ
有効表示画素数768×494
データ保存媒体SD-RAM
操作方式ジョイスティック、スイッチ
測定機能寸法、角度、半径
判定方式専用レファレンスパターンによる
印字方式プリンタ(※オプション)
使用環境

周辺温度 10~30℃
湿度 80%以下で結露の無い環境
強磁気、強振動、粉塵の無い環境

電源AC100V±10% 50/60Hz 150W(プリンタ含まず)

 

照明设备超高亮度检查使用手册

用于超高亮度检查的照明装置,型号名称UIH(超高强度卤素灯)

感谢您购买该系列。

请仔细阅读本手册,以大程度地发挥仪器的性能。

§1。目的和整体构成

该仪器是用于目视检查的超亮照明设备。 UIH-1,2,3类型是常见的

用于目视检查半导体晶片,掩模玻璃,光学部件等,表面划痕,灰尘或内部

通过照射高强度光来进行潮汐检测,以发现零件中的异物和气泡

(TYNDALL)它诱导大象并促进发现。

1H型系列不同,用于检查抛光晶片的雾度(雾量)和照射表面

这是投射第3条的检查标记的方法。

至于整体配置,所有这四种类型都分为两部分,一个是灯箱,另一个是电源单元。要么

至于支架,电源部分中只有1(H)型是自支撑式的,而第二和第三类型则使用独立的支架。

我是。各种类型的辐照直径,高度和角度均可自由调节。

§2。仪器特点

本仪器使用由我们专门设计和调整的特殊高强度卤素灯。这些

卤素灯在使用时具有用于照明,灭火和冷却方法的先进技术。

是必须的。即,如果忽略适合于灯的方法,则灯的寿命将大大缩短。因此电源

该零件旨在充分展示灯泡的功能。

镜头使用大直径非球面镜头,并具有专门为此仪器设计的制造方法,其亮度也达到了

除了1H类型以外,由于将其设置为0.71至0.92,我们成功提高了亮度。 1个

与其他强调亮度的聚光镜相比,将H型设定为具有强调成像的亮度。下属

投影出具有良好分辨率的检查标记。此外,所有型号的设计辐射直径几乎都是平行的。

光束增强了检查能力。

此外,应采取所有可能的措施来散热,尤其是对于类型2和类型3,要监测灯室内的发热并发生异常。

产生热量时,灯泡将被强制关闭。另外,请参阅附件中的外形图。

 §3.仕様 本器の仕様は次の通りです。 尚、( )内は1H型のみの仕様です。 名 称 超高輝度検査用照明装置 [Ultra Intensity Halogen-light] 形 式 UIH-1(H) UIH-2 UIH-3 ラ ン プ 定 格 15V 150W 100V 300W 100V 650W 高輝度寿命 50時間以上 75時間以上 75時間以上 半 輝 度 寿 命 800時間以上 1000時間以上 1800時間以上 反 射 鏡 径 50mm径放物線型ダイクロックミラー 同100mm径 設計照射径と距離 40mmφで180mm 70mmφで200mm 100mmφで270mm 設計照射径輝度 上記中央で60万lux(5万lux) 同40万lux 同30万lux 50万lux時照射径 約 45mmφ 約 60mmφ 約 80mmφ

 倍径時距離, 輝度 360mm,15万lux 400mm,10万lux 560mm,7、5万lux 輝度偏差と可変幅 高輝度偏差は上限10%、下限20%で可変幅は10:1以上 レ ン ズ φ=38 F=0.92 (F=2) φ=70 F=0.78 電 源 方 式 トランス式 セミトランス式 調 光 方 式 SCR位相制御 SCR制御で50/60Hz自動切り替え ス タ ン ド 自立型 独立型 冷 却 方 法 強制空冷式 電 圧 表 示 メーター指示 ダイヤルにて設定 点 灯 方 式 ハロゲンランプに適したスローアップ,スローダウン方式 防熱フィルター なし 1段 発 熱 監 視 なし 異常加熱(2型約100℃ 3型約130℃)により強制消灯 冷却自動スイッチ なし 消灯後一定温度(約40℃)迄下がると自動停止 合 計 重 量 7Kg 9Kg 13Kg 外 形 7ページ参照 

 

如何组装该仪器

如附图所示,此系列对于三个参与方中的每个都有不同的形式。查看每种类型的图纸

我将考虑考虑进行解释。

4-1组装1(H)型在1(H)型中,电源单元也用作支架。

将较长的轴插入电源的上法兰,然后将底部和法兰螺钉总共固定3个点。

我会。接下来,将短轴在任何位置拧入灯箱的底板,然后用夹具将其固定。

去做。此时,请考虑重力平衡和灯罩的可加工性进行组装。抽水

将螺丝刀等插入门另一端的孔中以将其固定。连接器的电源插头是电源

确保未连接并安装完成。仅1(H)类型的大亮度

带有调整修剪器。方法是将光量调节旋钮“ INTENSITY”设置为“ MAXIMUM”。

将灯泡开关设置为“ LAMP ON”时,将背面的“ SUB-INTE”设置为大电压为15V。

设置在不超过的范围内。出厂时已将其调整为50Hz的12V。

4-2类型2的组件类型2分为三个部分:支架,电源和灯箱。

首先,考虑到重力平衡和可操作性,将轴安装在机架上的三个孔之一中。

与1(H)型一样,灯罩的轴固定在底板上,并带有夹具。

将其固定到船尾。将电源放在支架上或支架上,连接连接器,然后完成。

我会。

4-3组装类型3与类型2一样,类型3分为支架,电源和灯罩。

我会。至于支架的组装,与类型2一样,竖立轴时要考虑平衡性和可加工性。

与其他类型不同,类型3灯罩特别大,因此请注意重量平衡。

请。组装时,将轴穿过灯箱底板上梯形金属配件的孔,并用4个螺丝将其固定。

用夹具将其安装到支架轴上。将电源放在支架上或支架周围

连接Nector并完成

 

仪器的基本操作

由于照明方法的不同,本机的操作在类型1(H)和类型2和3之间有所不同。所有产品都是正确的

注意轮廓图的照射距离和直径。

5-1 1(H)型操作电源装置中央的旋钮“ INTENSITY”作为电源开关加倍,为“ PO”。

如果从“ WER OFF”将其向右旋转,您会听到喀哒声,并且指示灯会亮起,并且灯泡将被预热并变暗。

我会。接下来,将光量选择器开关从'STANDING BY'更改为'LAMP ON'和'INTENSITY'旋钮。

您可以调节光量。当灯熄灭时,将光量选择器开关设置为“ STANDING BY”以提高冷却效果。

请在几分钟后“关闭电源”以摆脱它。

5-2 2型和3型的操作2型和3型的操作非常容易,操作员可以打开电源开关。

您所要做的就是按下gar开关。首先,打开电源开关“ POWER”并运行霓虹灯

Pu发出红色光。然后按下触发开关“ LAMP ON / OFF”,“ MONITOR”灯将点亮。

它变成绿色,并且灯箱的灯同时点亮。在这种状态下灯箱内部异常

加热时,将“监视器”更改为红色,强行关闭灯泡,并在灯泡冷却至一定程度时

此时,红色指示灯熄灭,可以再次打开。另外,如有必要,电压调节器“ INTENSITY”

转。 *电源电压为AC100V时,旋钮位置约为9.5,这是高亮度。

要关闭灯泡,请再次按“ LAMP ON / OFF”按钮以关闭灯泡。开启或关闭时

关闭电源后,风扇将继续旋转,直到冷却至一定温度为止。冷却进度

“ MONITOR”将闪烁红色,直到开关自动停止。

5-3聚焦调整和亮度此项目与以前的型号相同。调焦位于灯箱的顶端

转动聚焦环进行调整。放置工件并用光照射时,会发出圆形光。

转动环,使其轮廓清晰可见。聚焦对于1H类型是否特别重要?

请注意照射直径由聚焦环和照射距离决定,亮度由照射直径和行程决定。

这取决于电压。即,当灯电压恒定时的亮度与照射距离(面积)的平方相反。

成比例的。因此,如果优先考虑亮度,则好将其设置为较小的直径

 

用例和应用

该仪器是用于目视检查的超亮照明设备。通常半导体晶圆和块

为了目测玻璃表面的划痕和灰尘或内部的异物和气泡,请目视检查玻璃等。

它要求非常高的技能。这些检查被明亮的光线照亮

(TYNDALL)诱发现象并使任何人都容易进行。

使用此设备的示例是不透明的镜面,例如半导体晶片;(1)该表面暴露于一定角度的光下。

如何去除眼睛的反射光进行检查(2)对角向表面施加光并将反射光施加至白墙或

如何在白色天花板上投影,以及如何投影透明材料(例如玻璃)

可以同时检查表面和内部。另外,②使用特殊检查方法在墙壁上使用特殊的筛网。

通过在样品和样品之间插入特殊的透镜,可以进一步改善效果。

当然,这些只是一般用法示例,但是当前情况是每个公司都使用自己的方法进行检查。

现实情况是它们本身被用作专有技术。我们建议您设计各种东西。

1H型在系列中有所不同,用于检查抛光晶片的雾度(浑浊)量。 JIS-

在H0614的镜面检查方法中,采用投射灯丝的方法,但是1H

在模具中,投影了三个标记而不是丘陵。由于此标记的亮度不同

检查是。也就是说,无法在完美的镜面上看到该标记,并且由于标记不完整,因此看起来更好。

我会

 

 

另外,该标记与周围的亮度差异很大,易于进行雾度检查,并且除该标记以外的其他周围环境

由于用高强度光照射,因此可以同时进行表面检查。

§7。生活与光明

指定寿命是大亮度寿命和半亮度寿命的参考值,因此电源电压

意味着它将波动很大。另外,亮度与照射面积成反比,因此寿命长。

如果您主要考虑的是,请尽可能减小照射面积,并随灯电压降低增加的亮度。

这将是有利的。为了延长使用寿命,请降低灯泡电压,并且不要将亮度提高到不必要的程度。

请这样做。

§8。使用注意事项

本节介绍使用注意事项,因此,请在充分理解后再使用很长时间。

1)灯泡是生活用品。要长期使用,请降低灯泡电压并集中使用。

是个好主意。不要忘记准备备件! !!

1)我们已采取一切可能的措施从灯罩中产生热量,但是特别是类型3产生的热量为650W。

因为有,在一个小的暗室中室温可能会升高。您需要足够的冷却

我们开始做吧。

3)由于长期使用,灯箱周围会产生一些热量。调焦环

触摸外壳时请小心。

4)指示灯点亮时,请勿强烈冲击。当然,它是严格坚持运动的。

5)仅适用于2和3型,请在灯关闭后显示“ MONITOR”灯时拔下电源插头。

请不要成对拔出。当温度降至安全温度时,电源将自动关闭。

6)在灯罩外盖打开的情况下进行照明会影响冷却效果,并导致设备损坏。

请不要这样做。

7)灯箱和电源是组合调整的,因此如果更改组合

不会满足

 

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