M Plan Apo 5× 378-802-6物镜Mitutoyo三丰

 明视场用物镜
M Plan Apo /
M Plan Apo HR
VMU WIDE VMU FS70 MF-U Hyper MF-U

凭借长动作距离设计的物镜，实现优异的操作性。
与定位器、探针台等组合。
通过与激光加工装置组合，还可支持不良分析→部分修正无缝衔接的系统。
此外，还提供支持隔着玻璃的、真空内的外观检查的系统

Mitutoyo三丰显微镜单元
日本三丰物镜(紫外、近紫外、可视、近红外)
用于半导体、电子、液晶相关等产品的生产
品质管理系统、实验研究装置使用的光学系统
外观检查系统的嵌入式光学单元
微生物等运动物体的观察 等
可安装数码相机，通过外部显示器进行观察和拍摄。
可实现横向水平、上下颠倒等高自由度的固定方法。
与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。
★金属、树脂、印刷面等表面观察拍摄
★微量流体分析用光学系统
★以观察和分析细胞、微生物等为目的的光学系统

M Plan Apo NIR系列等支持红外区的物镜组合，可在红外线下实
现可见光下做不到的非破坏性检查。
★液晶薄膜、硅基板等的厚度测量
★MEMS内部的非破坏评价、三维安装评价
★半导体封装(IC)的内部观察、晶圆键合空洞评价传感器
★红外分光特性分析

通过VMU-LB和固定倍率观察用相机卡口的
组合，能够对同一位置以不同倍率同时观
察。
(低倍率侧：2/3型、高倍率侧：1/2型等)

通过与YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物镜组合，可实现高精度、高
品质加工。
与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。
保护膜、有机薄膜等的剥离
金、铝等金属配线切割、下层图案的外露
FPD的各种缺陷修正
光掩模修正
标记、修剪、图像形成、局部退火、划线

凭借长动作距离设计的物镜，实现优异的操作性。
通过与激光加工装置组合，还可支持不良分析→部分修正无缝衔接的系统。
此外，还提供支持隔着玻璃的、真空内的外观检查的系统

视频显微镜单元
VMU 
大视场视频显微镜单元
WIDE VMU 

精密显微镜单元
FS70 
明视场用物镜
(长工作距离
)
M Plan Apo/M Plan Apo HR 
明视场用物镜
(超长工作距离
)
M Plan Apo SL 
明视场用物镜
(玻璃厚度校正)
G Plan Apo
明暗视场物镜
(长工作距离)
BD Plan Apo/BD Plan Apo HR
明暗视场物镜
(超长工作距离
)
BD Plan Apo SL
(近红外区
)
M Plan Apo NIR/M Plan Apo NIR HR,
M Plan Apo NIR B
明视场用物镜
(液晶玻璃厚度校正 近红外区
)
LCD Plan Apo NIR/LCD Plan Apo NIR HR 
明视场用物镜
(近紫外区
)
M Plan Apo NUV/M Plan Apo NUV HR 
明视场用物镜
(液晶玻璃厚度校正 近紫外区

LCD Plan Apo NUV/LCD Plan Apo NUV HR
明视场用物镜
(紫外区
)
M Plan UV 
明视场用物镜
(液晶紫外区
)
LCD Plan UV
成像
(镜筒
)透镜
MT 
测量显微镜用物镜
ML 
定心显微镜用物镜
CF 
大视场目镜
/分划板
WF/UWF
各种显微镜选件
支架、工作台、照明装置 
外形尺寸
(VMU/WIDE VMU/FS70