Mitutoyo三丰调心电动转塔378-713DC

Mitutoyo三丰调心电动转塔378-713DC

调心电动转塔

 多可安装5个物镜，转塔的方向可相对于安装面自由设置。

 在VMU-V上安装的示例 (物镜为选件)

 货号 378-713DC 观察方法 明视场观察 物镜安装孔数 5(基准孔1 、带调心机构孔4) 视场调节范围 ±0.5mm 定位精度(重复停止精度) 2σ＝3µm 驱动寿命(耐久性) 100万个位置 驱动方式 DC电机 输入电源 AC100V～240V 大功耗约10W 外部输入输出接口※ RS-232C(用于使用计算机进行外部控制) 附带电缆长度 3m(连接电动转塔部和控制箱) 外观尺寸：W×H×D(mm)、重量 主体部分：130×47×186、约1.8kg 控制箱：108×63×176、约810g ※连接时请使用【RS-232C 电缆(12AAA807)】

(低倍率侧：2/3型、高倍率侧：1/2型等)

通过与YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物镜组合，可实现高精度、高

品质加工。

与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。

　★保护膜、有机薄膜等的剥离

　★金、铝等金属配线切割、下层图案的外露

　★FPD的各种缺陷修正

　★光掩模修正

　★标记、修剪、图像形成、局部退火、划线

凭借长动作距离设计的物镜，实现优异的操作性。

与定位器、探针台等组合。

通过与激光加工装置组合，还可支持不良分析→部分修正无缝衔接的系统。

此外，还提供支持隔着玻璃的、真空内的外观检查的系统