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canon-anelva量规BRG-1B真空计

更新时间:2021-06-02

简要描述:

canon-anelva量规BRG-1B真空计
シュルツゲージ LG-11S/B-Aゲージ UGD-1S/ワイドレンジB-Aゲージ BRG-1B

型号:厂商性质:经销商浏览量:230
品牌其他品牌货号BRG-1B
规格1供货周期一个月
主要用途量规应用领域环保,电子,电气

canon-anelva量规BRG-1B真空计

canon-anelva量规BRG-1B真空计

 电容式压力表“M-342DG”采用小型硅MEMS芯片作为压力传感器,将温度、振动和大气压力波动等外部环境的影响降至,从而实现高精度和稳定的压力测量。达到最小调零频率

型 名LG-11SUGD-1SBRG-1B
ゲージタイプシュルツゲージB-AゲージワイドレンジB-Aゲージ
形状ガラス管状
被測定真空室
との接続
φ15ゲージポート(Oリング)

 用 支持各种高精度、长期稳定的真空压力测量 各种真空器件,如半导体、显示器、太阳能电池等。 ・ 真空成膜过程压力控制和监测,如溅射和PECVD ・负载锁定室、晶圆冷却等气体导入工序、系统压力控制 医疗、生物科技、食品等行业,以及各种研发应用 各种镀膜、等离子处理、真空密封、真空炉、分析仪、杀菌、真空泵评价、分子蒸馏等

 

型名M-342DG
-1D-1N-11-12-13
フルスケール圧力(Pa) 13.33 133.31.333k13.33k133.3k
測定精度(% of reading)0.20(at 23℃)

 

 

ゼロ点温度係数(% of F.S./℃)0.010.0050.002
スパン温度係数(% of reading/℃)0.010.005
分解能(% of Full-scale)0.010.005
測定下限圧力(% of Full-scale)0.01
実用測定下限圧力(% of Full-scale)0.05

 

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