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18511227625更新时间：2024-02-13
HF-960M浓度监测仪HORIBA堀场低浓度HF / HCl / NH3浓度监测仪HF-960M总览一次清洗和单晶片清洗的理想选择低浓度，盐酸和氨的高精度测量在半导体清洁过程中，随着设备的发展和小型化，需要控制化学药品以低浓度进行RCA清洁。HF-960M使用具有出色耐腐蚀性的传感器，并可以高速测量低浓度的，盐酸和氨，使其非常适合单浴清洗和单晶片清洗。特征测量5种类
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保 |
总览
一次清洗和单晶片清洗的理想选择
低浓度，盐酸和氨的高精度测量
在半导体清洁过程中，随着设备的发展和小型化，需要控制化学药品以低浓度进行RCA清洁。
HF-960M使用具有出色耐腐蚀性的传感器，并可以高速测量低浓度的，盐酸和氨，使其非常适合单浴清洗和单晶片清洗。
特征
测量5种类型：HF浓度，HCl浓度，NH3浓度，电导率和温度
在浓度测量范围内可以任意设置模拟输出
配备7个触点输出点
配备三个变速箱输出
製品名 | 低濃度HF/HCl/NH3濃度モニタ |
|---|---|
型名 | HF-960M |
周囲温度 | −5〜45℃ |
相対湿度 | 20〜85％（結露しないこと） |
保存温度 | −25〜65℃ |
電源 | 定格電圧 24V DC 10W（max） |
外形寸法 | 96（W）×96（H）×115（D） ケース奥行：約105mm（パネルマウント時） |
質量 | 約550g |
適合規格 | CEマーキング、FCC Part15 |
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