更新时间:2024-07-30
HF-960M浓度监测仪HORIBA堀场低浓度HF / HCl / NH3浓度监测仪HF-960M总览一次清洗和单晶片清洗的理想选择低浓度,盐酸和氨的高精度测量在半导体清洁过程中,随着设备的发展和小型化,需要控制化学药品以低浓度进行RCA清洁。HF-960M使用具有出色耐腐蚀性的传感器,并可以高速测量低浓度的,盐酸和氨,使其非常适合单浴清洗和单晶片清洗。特征测量5种类
品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 环保 |
总览
一次清洗和单晶片清洗的理想选择
低浓度,盐酸和氨的高精度测量
在半导体清洁过程中,随着设备的发展和小型化,需要控制化学药品以低浓度进行RCA清洁。
HF-960M使用具有出色耐腐蚀性的传感器,并可以高速测量低浓度的,盐酸和氨,使其非常适合单浴清洗和单晶片清洗。
特征
测量5种类型:HF浓度,HCl浓度,NH3浓度,电导率和温度
在浓度测量范围内可以任意设置模拟输出
配备7个触点输出点
配备三个变速箱输出
製品名 | 低濃度HF/HCl/NH3濃度モニタ |
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型名 | HF-960M |
周囲温度 | −5〜45℃ |
相対湿度 | 20〜85%(結露しないこと) |
保存温度 | −25〜65℃ |
電源 | 定格電圧 24V DC 10W(max) |
外形寸法 | 96(W)×96(H)×115(D) ケース奥行:約105mm(パネルマウント時) |
質量 | 約550g |
適合規格 | CEマーキング、FCC Part15 |