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HORIBA堀场电导率仪HE-480C-GC

更新时间:2020-08-12

简要描述:

HORIBA堀场电导率仪HE-480C-GC
总览
随着器件的发展,在半导体制造工艺的湿法工艺中使用的化学物质类型趋于越来越多。 HE-480C-GC使用具有高耐化学性的传感器来测量化学物质的电导率,是处理过程中的浓度控制,化学物质稀释控制和超纯水循环监控的理想选择。

特征
优异的耐化学性和耐压性能
通过采用具有高耐压和高耐化学性的特殊电极,它是化学处理后测量DIW Rince的电导率值以及在循

型号:厂商性质:经销商浏览量:95
品牌其他品牌最小分辨率1μs/cm
精确度1FS温度测量范围 0~100℃℃
盐度测量范围1ppt电阻率测量范围1MΩ·cm
TDS测量范围1g/l电导率测量范围1mS/cm
价格区间1万-2万检测参数多参数
仪器种类台式应用领域环保

HORIBA堀场电导率仪HE-480C-GC

 碳传感器电导率仪低浓度HE-480C-GC型

 总览
随着器件的发展,在半导体制造工艺的湿法工艺中使用的化学物质类型趋于越来越多。 HE-480C-GC使用具有高耐化学性的传感器来测量化学物质的电导率,非常适合在处理过程中进行浓度控制,化学物质稀释控制和超纯水循环监控。

特征
优异的耐化学性和耐压性能
通过采用具有高耐压和高耐化学性的特殊电极,非常适合化学处理后测量DIW Rince的电导率值以及在循环管线中进行测量。
无金属污染
因为特殊的碳被用作电极材料,所以没有洗脱金属污染物的风险。
温度测量/显示功能
使用温度补偿元件Pt1000Ω。可以进行温度测量和显示。
同时显示测量值和参数设置
您还可以在进行设置和调用设置值时检查测量值。
内置丰富的温度补偿功能
您可以选择超纯水的温度特性(参考温度25°C),NaCl温度特性以及参考温度和温度补偿系数的可选设置,因此可以根据所测溶液进行温度补偿。
带有图标和安全功能的增强状态显示
用图标显示仪器的状态。易于理解的显示可防止操作错误。此外,通过设置安全代码,所有按键操作均被锁定,以防止由于故障而导致测量错误

 

 

仕様

指示変換器

形式

HE-480C-GC

測定方式

2電極方式

センサ入力

1チャンネル

温度センサ仕様

白金抵抗体1000Ω/0℃

繰り返し性

※1 ±0.5%フルスケール以内 
※2 ±1.0%フルスケール以内 
※3 ±1.5%フルスケール以内
(等価入力にて)

直 線 性

※1 ±0.5%フルスケール以内 
※2 ±1.0%フルスケール以内 
※3 ±1.5%フルスケール以内 
(等価入力にて) 
 

伝送出力

出力点数:1点 
DC4~20mA  入出力絶縁形  最大負荷抵抗:900Ω 
伝送出力レンジ: 測定範囲内で任意設定可

接点出力

出力点数:2点 
警報接点出力(R1、R2) 
 接点形態:リレー接点 SPDT(1c) 
 接点容量:AC240V 3A、DC 30V 3A(抵抗負荷) 
 接点機能:上、下限動作(ON/OFF制御)、USP判定、異常警報、 
 保守中より選択設定

校正機能

導電率:セル定数の補正係数入力による(パラメータ入力) 
温 度:基準温度計との比較校正 
T D S:任意係数(0.30~1.00)による換算

ホールド機能

直前値ホールド、任意値ホールド、連続より選択設定
(ただし、メンテナンスモードでは直前値ホールドになります)

自己診断機能

  • センサ診断(温度センサ短絡、温度センサ断線)
  • 測定範囲外
  • A/Dコンバータスケールオーバー
  • 変換器異常

温度補償

  • 超純水の温度特性(基準温度25℃)
  • NaClの温度特性
  • 基準温度と温度係数任意設定(基準温度:5~95℃ 温度係数:±5%/℃)

温度補償範囲

0~100℃

周囲使用温湿度

温度:-5~45℃、湿度:20~85%(結露しないこと)

電源

AC100~240V ±10%  50/60Hz  10VA(max)

保護構造

パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部:IP00(パネル取付屋内設置型)

質量

約400g

適合規格

CEマーキング、FCC Part15

組合せセンサ

ESHシリーズ導電率GCセンサ

 

センサ

形式

ESH-01-L-GC5-Y-10M

ESH-1-L-GC9-Y-10M

セル定数

(約0.1/cm)

(約1/cm)

接液材質

極部

GC(ガラスカーボン)

ボディ部

PFA

パッキン

カルレッツ®

試料水条件

温度:0~80℃、 圧力:0~0.5MPa

ケーブル長

10m、Y端子(標準)※4

取付

ねじ込み口径:R(PT)3/4

組合せホルダ

流通形ホルダEFA-30シリーズ ※5

※4ケーブル長、端末処理形状については別途ご相談ください。
※5流通型ホルダは、EFA-30P(PVDF)またはEFA-30F(PFA)をご使用ください。

 

 

 

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