更新时间:2024-07-30
HORIBA堀场电导率仪HE-480C-GC总览随着器件的发展,在半导体制造工艺的湿法工艺中使用的化学物质类型趋于越来越多。 HE-480C-GC使用具有高耐化学性的传感器来测量化学物质的电导率,是处理过程中的浓度控制,化学物质稀释控制和超纯水循环监控的理想选择。特征优异的耐化学性和耐压性能通过采用具有高耐压和高耐化学性的特殊电极,它是化学处理后测量DIW Rince的电导率值以及在循
品牌 | 其他品牌 | 最小分辨率 | 1μs/cm |
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精确度 | 1FS | 温度测量范围 | 0~100℃℃ |
盐度测量范围 | 1ppt | 电阻率测量范围 | 1MΩ·cm |
TDS测量范围 | 1g/l | 电导率测量范围 | 1mS/cm |
价格区间 | 1万-2万 | 检测参数 | 多参数 |
仪器种类 | 台式 | 应用领域 | 环保 |
HORIBA堀场电导率仪HE-480C-GC
碳传感器电导率仪低浓度HE-480C-GC型
总览
随着器件的发展,在半导体制造工艺的湿法工艺中使用的化学物质类型趋于越来越多。 HE-480C-GC使用具有高耐化学性的传感器来测量化学物质的电导率,非常适合在处理过程中进行浓度控制,化学物质稀释控制和超纯水循环监控。
特征
优异的耐化学性和耐压性能
通过采用具有高耐压和高耐化学性的特殊电极,非常适合化学处理后测量DIW Rince的电导率值以及在循环管线中进行测量。
无金属污染
因为特殊的碳被用作电极材料,所以没有洗脱金属污染物的风险。
温度测量/显示功能
使用温度补偿元件Pt1000Ω。可以进行温度测量和显示。
同时显示测量值和参数设置
您还可以在进行设置和调用设置值时检查测量值。
内置丰富的温度补偿功能
您可以选择超纯水的温度特性(参考温度25°C),NaCl温度特性以及参考温度和温度补偿系数的可选设置,因此可以根据所测溶液进行温度补偿。
带有图标和安全功能的增强状态显示
用图标显示仪器的状态。易于理解的显示可防止操作错误。此外,通过设置安全代码,所有按键操作均被锁定,以防止由于故障而导致测量错误
指示変換器
形式 | HE-480C-GC |
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測定方式 | 2電極方式 |
センサ入力 | 1チャンネル |
温度センサ仕様 | 白金抵抗体1000Ω/0℃ |
繰り返し性 | ※1 ±0.5%フルスケール以内 |
直 線 性 | ※1 ±0.5%フルスケール以内 |
伝送出力 | 出力点数:1点 |
接点出力 | 出力点数:2点 |
校正機能 | 導電率:セル定数の補正係数入力による(パラメータ入力) |
ホールド機能 | 直前値ホールド、任意値ホールド、連続より選択設定 |
自己診断機能 |
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温度補償 |
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温度補償範囲 | 0~100℃ |
周囲使用温湿度 | 温度:-5~45℃、湿度:20~85%(結露しないこと) |
電源 | AC100~240V ±10% 50/60Hz 10VA(max) |
保護構造 | パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部:IP00(パネル取付屋内設置型) |
質量 | 約400g |
適合規格 | CEマーキング、FCC Part15 |
組合せセンサ | ESHシリーズ導電率GCセンサ |
センサ
形式 | ESH-01-L-GC5-Y-10M | ESH-1-L-GC9-Y-10M | |
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セル定数 | (約0.1/cm) | (約1/cm) | |
接液材質 | 極部 | GC(ガラスカーボン) | |
ボディ部 | PFA | ||
パッキン | カルレッツ® | ||
試料水条件 | 温度:0~80℃、 圧力:0~0.5MPa | ||
ケーブル長 | 10m、Y端子(標準)※4 | ||
取付 | ねじ込み口径:R(PT)3/4 | ||
組合せホルダ | 流通形ホルダEFA-30シリーズ ※5 |
※4ケーブル長、端末処理形状については別途ご相談ください。
※5流通型ホルダは、EFA-30P(PVDF)またはEFA-30F(PFA)をご使用ください。