Mitutoyo三丰成像（镜筒）透镜 管镜

Mitutoyo三丰成像(镜筒)透镜 管镜

 Mitutoyo三丰成像(镜筒)透镜 管镜970209 MT-2

 MT-1,2,40 ：可见区(435.8～656.3nm)
MT-L ：近紫外区(355nm)到近红外区(1064nm)
MT-L4 ：紫外区(266nm)到可见区(620nm

 VMU、WIDE VMU、FS70采用了使用物镜和成像(镜筒)透镜进行成像的无限远校正光学系统。物镜与成
像镜头之间的光通量为平行光线，能减少反射照明用半反射镜产生的重影、棱镜、滤光片等的像位变化。
使用本公司制造的物镜设计光学系统时，请使用上述成像(镜筒)透镜

 物镜和
成像镜头的配置

 长工作距离物镜在成像镜头按照尺寸配置时，可以覆盖成像视场ø30mm(MT-1/2)、ø24mm(MT-40/L/
L4)。当插入自有的照明光学系统或其他光学元件，超过了尺寸时，可以通过下式求出大致尺寸。

 R ＝(ø2－ø1)·f2/ø〔mm〕 ··································(1)
ø1 ＝2·f·NA〔mm〕··········································(2)
ø1 ： 物镜的出瞳直径〔mm〕
ø2 ： 成像镜头的入射透镜直径〔mm〕
f2 ： 成像镜头的焦距〔mm〕
ø ： 成像视场〔mm〕

 (例)以成像视场ø24使用M Plan Apo 10×和MT-1时，R的距离大可为多少？
由(2)可得 ø1 ＝2×20×0.28
＝11.2〔mm〕
※15页的规格栏中M Plan Apo 10×的焦距f＝20mm，数值孔径NA＝0.28
由(1)可得 R＝(24-11.2)×200/24
＝106.6〔mm〕
距离在R＝106mm以下时，以成像视场ø24可以得到没有渐晕的成像。
上述规格栏中MT-1的入射透镜直径ø2＝24mm，焦距f2＝200mm
在尺寸以下使用物镜和成像镜头对光学性能没有影响

 带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金
属表面、半导体、液晶基板、树脂等。
• 多种显微镜镜体通常用作适用于专业器械的
OEM (原厂委制) 产品，如那些利用YAG (近红
外、可见、近紫外或紫外) 激光* 对半导体晶
片进行检测和修补的设备。
* 不保证激光系统产品的性能和安全性。
• 应用：切割、修整、校正、 给半导体电路做
标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色
滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观
察剖面图以便探针分析半导体故障