Mitutoyo三丰物镜378-839-5

Mitutoyo三丰物镜378-839-5

 明视场用紫外区校正 物镜
M Plan UV

 ·无限远校正
·明视场观察及激光加工用
·长工作距离
·平场规格
· 对紫外区(波长266nm)和可见区(常用观察波长区)进行
了校正设计。
重点保证了紫外区的高透射率

 品 名货号
数值孔径
NA
工作距离
WD(mm)
焦距
f(mm) 分辨力
R(μm)
物镜单体的焦深
±D.F.(μm)
实际视场(mm) 重量
f266 f550 ø24目镜 (g) 1/2型
相机 (纵×横)
M Plan UV
M Plan UV 10× 378-844-15 0.25 20.0 20 20.3 1.1 4.4 2.4 0.48×0.64 310
M Plan UV 20× 378-837-8 0.37 15.0 10 10.4 0.7 2.1 1.2 0.24×0.32 370
M Plan UV 50× 378-838-8 0.41 12.0 4 4.2 0.7 1.6 0.48 0.10×0.13 400
M Plan UV 80× 378-839-5 0.55 10.0 2.5 2.9 0.5 0.9 0.3 0.06×0.08 380
 结合使用显微镜和YAG激光，在试料上投影掩模图像时，掩模图像会缩小到f/200(本公司镜筒透镜，焦距f＝200mm)倍投影，由于f550＞f266，因此紫外光(波长266nm)的加工面积略小于可
见光(波长550nm)的掩模图像。

 上述规格栏中的分辨力和物镜单体焦深是根据基准波长(λ＝0.55μm)计算得出的值

 注:
这些紫外校正物镜设计*，即便当所使用的波长
在可视区(l = 550nm)至紫外区(l = 266nm)的任一范围
内发生变化时，也可在焦深范围内对工件图像进行
聚焦。因此， M Plan UV系列使用高频激光束适用
于激光修复

 显微镜
观察、测量和处理系统化的显微镜阵容

VMU
378 系列 — 视频显微镜系统

 紧凑轻量型显微镜，相机观察型。适于
检测金属表面、半导体、液晶面板、树脂等。
• 多种镜体通常用作适用于专业器械的OEM
(原厂委制) 产品，如那些利用YAG (近红外、
可见、近紫外或紫外) 激光* 对半导体晶片
进行检测和修补的设备。
* 不保证激光系统产品的性能和安全性。
应用：切割、修整、校正、 给半导体电路做
标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色
滤光器的修复 (校正错误)。还可用作光学观
察剖面图以便探头分析半导体故障。
• 对于VMU-LB 和 VMU-LB， 显微镜主件的刚度
和总体性能与之前的型号相比已有所提高

 Mitutoyo三丰物镜378-839-5