378-844-15 M Plan UV 10×

 378-844-15 M Plan UV 10×

 明视场用紫外区校正 物镜
M Plan UV

Mitutoyo三丰物镜 紫外、近紫外、可视、近红外

Mitutoyo三丰显微镜单元
日本三丰物镜(紫外、近紫外、可视、近红外)
用于半导体、电子、液晶相关等产品的生产
品质管理系统、实验研究装置使用的光学系统
外观检查系统的嵌入式光学单元
微生物等运动物体的观察 等
可安装数码相机，通过外部显示器进行观察和拍摄。
可实现横向水平、上下颠倒等高自由度的固定方法。
与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。
★金属、树脂、印刷面等表面观察拍摄
★微量流体分析用光学系统
★以观察和分析细胞、微生物等为目的的光学系统

M Plan Apo NIR系列等支持红外区的物镜组合，可在红外线下实
现可见光下做不到的非破坏性检查。
★液晶薄膜、硅基板等的厚度测量
★MEMS内部的非破坏评价、三维安装评价
★半导体封装(IC)的内部观察、晶圆键合空洞评价传感器
★红外分光特性分析

通过VMU-LB和固定倍率观察用相机卡口的
组合，能够对同一位置以不同倍率同时观
察。
(低倍率侧：2/3型、高倍率侧：1/2型等)

通过与YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物镜组合，可实现高精度、高
品质加工。
与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。
★保护膜、有机薄膜等的剥离
★金、铝等金属配线切割、下层图案的外露
★FPD的各种缺陷修正
★光掩模修正
★标记、修剪、图像形成、局部退火、划

378-844-15 M Plan UV 10×

·无限远校正
·明视场观察及激光加工用
·长工作距离
·平场规格
· 对紫外区(波长266nm)和可见区(常用观察波长区)进行
了校正设计。
重点保证了紫外区的高透射率