378-726DC 378-727DC明暗视场BD用电动转塔

明视场(BF)用电动转塔
明暗视场(BD)用电动转塔

 378-726DC 378-727DC明暗视场BD用电动转塔

明视场(BF)用电动转塔多可安装5个物镜(带调心机构)，明暗视场(BD)用
电动转塔多可安装4个物镜

 图片：在WIDE VMU上安装的示例
(物镜为选件)

Mitutoyo三丰显微镜单元
日本三丰物镜(紫外、近紫外、可视、近红外)
用于半导体、电子、液晶相关等产品的生产
品质管理系统、实验研究装置使用的光学系统
外观检查系统的嵌入式光学单元
微生物等运动物体的观察 等

可安装数码相机，通过外部显示器进行观察和拍摄。
可实现横向水平、上下颠倒等高自由度的固定方法。
与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。
★金属、树脂、印刷面等表面观察拍摄
★微量流体分析用光学系统
★以观察和分析细胞、微生物等为目的的光学系统

M Plan Apo NIR系列等支持红外区的物镜组合，可在红外线下实
现可见光下做不到的非破坏性检查。
★液晶薄膜、硅基板等的厚度测量
★MEMS内部的非破坏评价、三维安装评价
★半导体封装(IC)的内部观察、晶圆键合空洞评价传感器
★红外分光特性分析

通过VMU-LB和固定倍率观察用相机卡口的
组合，能够对同一位置以不同倍率同时观
察。
(低倍率侧：2/3型、高倍率侧：1/2型等)

通过与YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物镜组合，可实现高精度、高
品质加工。
与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。
保护膜、有机薄膜等的剥离
金、铝等金属配线切割、下层图案的外露
FPD的各种缺陷修正
光掩模修正
标记、修剪、图像形成、局部退火、划线

凭借长动作距离设计的物镜，实现优异的操作性。
与定位器、探针台等组合。
通过与激光加工装置组合，还可支持不良分析→部分修正无缝衔接的系统。
此外，还提供支持隔着玻璃的、真空内的外观检查的系统

观察方法明视场观察明暗视场观察
物镜安装孔数5(基准孔1、带调心机构孔4) 4(固定孔)
视场调节范围±0.5mm －
定位精度
(重复停止精度) 2σ＝3μm －
驱动寿命(耐久性) 100万个位置－
驱动方式DC电机－
输入电源AC100V～240V
大功耗 约10W
AC100V～240V
大功耗 约6W
外部输入输出接口※ RS-232C(用于使用计算机进行外部控制)
附带电缆长度2.9m(连接电动转塔部和控制箱)
外观尺寸：W×H×D(mm)、
重量
主体部分：130×47×186、
约1.8kg
控制箱：108×63×176、约
810g
主体部分：164×65×137、
约1.8kg
控制箱：108×72×193、约
810g
适用机型WIDE VMU-V
WIDE VMU-H
WIDE VMU-BDV
WIDE VMU-BDH
※连接时请使用【RS-232C 电缆(12AAA807)】