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18511227625更新时间：2024-08-01
canon-anelva M-311HG真空计イオンゲージ（熱陰極電離真空計）M-311HG（真空計）イオンゲージ M-311HG
| 品牌 | 其他品牌 | 货号 | M-311HG |
|---|---|---|---|
| 规格 | 1 | 供货周期 | 一个月以上 |
| 主要用途 | 真空计 | 应用领域 | 环保,电子,电气 |
| 压力测量范围 | 1×10-7～10Pa |
canon-anelva M-311HG真空计
canon-anelva M-311HG真空计
换能器真空计系列的离子计。离子规（热阴极电离真空规）具有良好的重现性和线性，可测量宽范围的压力，是作为真空规的优良特性。传感器使用经过验证的微型仪表（MG-2I 型）
特征 压力测量范围广 从 10-7Pa 到 10Pa，可以在不牺牲超高真空侧特性的情况下测量超出溅射工艺的低真空区域。 高响应模拟输出 压力值的模拟信号输出确保100毫秒内的高响应性，也可用于过程压力控制。 4种发射电流设置模式 可根据用途进行选择，例如在高压区侧使用时可提高灯丝寿命
用 生产真空设备压力测量 半导体溅射设备压力测量 各种真空装置 选项 可提供系列兼容指示器。 大型数字液晶显示屏，一目了然，大大提高了操作性 根据应用选择1ch类型或3ch类型
| 型 名 | イオンゲージ | |
|---|---|---|
| M-311HG‐SP | M-311HG‐RS | |
| 圧力測定範囲 | 1×10-7～10Pa | |
| 入力電圧 | DC20～28V | |
| 消費電力 | 12W | |
| アナログ出力 | 0～10V | － |
| セットポイント | 2点リレー出力 | |
| インターフェース | － | RS485 |
| 入出力コネクタ | Dsub-9（Male） | |
| 最大ケーブル長 | 200m（1mm2） | |
| 使用温度範囲 | 5～50℃ | |
| 保存温度範囲 | -20～70℃ | |
| センサ－型名 | ミニチュアB-Aゲージ（MG-2Iシリーズ） | |
| センサー材質（主要部） | フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304 | |
| 外形寸法（mm） | 110×70×50 | |
| フランジ形状 | NW16, NW25, ICF34, ICF70 | |
| 対応 | CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40 | |
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