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canon-anelva M-311HG真空计

更新时间:2021-06-02

简要描述:

canon-anelva M-311HG真空计
イオンゲージ(熱陰極電離真空計)M-311HG(真空計)
イオンゲージ M-311HG

型号:厂商性质:经销商浏览量:203
品牌其他品牌货号M-311HG
规格1供货周期一个月以上
主要用途真空计应用领域环保,电子,电气
压力测量范围1×10-7~10Pa

canon-anelva M-311HG真空计

canon-anelva M-311HG真空计

 换能器真空计系列的离子计。离子规(热阴极电离真空规)具有良好的重现性和线性,可测量宽范围的压力,是作为真空规的优良特性。传感器使用经过验证的微型仪表(MG-2I 型)

 特征 压力测量范围广 从 10-7Pa 到 10Pa,可以在不牺牲超高真空侧特性的情况下测量超出溅射工艺的低真空区域。 高响应模拟输出 压力值的模拟信号输出确保100毫秒内的高响应性,也可用于过程压力控制。 4种发射电流设置模式 可根据用途进行选择,例如在高压区侧使用时可提高灯丝寿命

 用 生产真空设备压力测量 半导体溅射设备压力测量 各种真空装置 选项 可提供系列兼容指示器。 大型数字液晶显示屏,一目了然,大大提高了操作性 根据应用选择1ch类型或3ch类型

 

型 名イオンゲージ
M-311HG‐SPM-311HG‐RS
圧力測定範囲1×10-7~10Pa
入力電圧DC20~28V
消費電力12W
アナログ出力0~10V
セットポイント2点リレー出力
インターフェースRS485
入出力コネクタDsub-9(Male)
最大ケーブル長200m(1mm2
使用温度範囲5~50℃
保存温度範囲-20~70℃
センサ-型名ミニチュアB-Aゲージ(MG-2Iシリーズ)
センサー材質(主要部)フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304
外形寸法(mm)110×70×50
フランジ形状NW16, NW25, ICF34, ICF70
対応CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40

 

 

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