LGH-0510-B-EH 542-720光栅式测微仪

LGH-0510-B-EH 542-720光栅式测微仪

 Mitutoyo日本三丰

 542 系列 激光全息光栅式测微仪
LGH (0.01μm 分辨力、0.005μm 分辨力)
• 在10mm 的宽范围内实现了与激光干涉仪
相同的0.005μm 或0.01μm 的高分辨力和高
精度。
• 紧凑性的机身使得装置本身小型化，不仅
可以作为高精度零部件的测量以及高精度
定位· 控制装置长度测量的传感器，还适用
于作为各种测量机的标准规。
• 新型号采用光电式反射型线性编
码器，在低价格下实现了0.01μm
高分辨率，指示精度0.2μm，测
量范围10mm的宽范围。
• 响应速度与以往产品相比提高了
2.8倍(250mm/s⇒700mm/s)，兼顾
了高精度和高速度。
• 装配新开发的超高精度透射型线
性编码器，实现0.005μm(5nm)的
高分辨力。
• 在测量范围10mm的宽范围内实
现了指示精度0.1μm。适用于标
准规的校正·赋值，以及用于测
量机的基准器。
• 也具有低测力规格产品：根据用途可以选
择低测力规格，可以测量易变形工件和高
性能胶片等。
• LGH 系列是与计数器的组合规格

 分辨力0.005μm、指示精度0.1μm 类型
货号542-720 (标准型) 542-721 (低测力型)
型号LGH-0510-B-EH LGH-0510C-B-EH
测量范围10mm
分辨力0.005μm (0.01, 0.05, 0.1μm 用计数器可切换)
指示精度(20ºC)*1 0.1μm
重复精度(20ºC)*1 0.02μm (2σ)
量化误差(20ºC)*1 0.05μm
测力
测杆朝下0.65N 以下约0.1N
测杆水平0.55N 以下不可使用
测杆朝上0.45N 以下不可使用
位置检出方式超高精度透射型线性编码器
响应速度250mm/sec
重量约370g
测头硬质合金SR5 (M2.5 (P=0.45) × 5mm) 标准测头120058
装夹套筒ø15mm
轴承类型高精度线性滚珠轴承
输出电缆长度约2m
运行温度(湿度) 范围15ºC ～ 25ºC (基准温度20ºC) / 30 ～ 60％ RH (无冷凝)
存储温度(湿度) 范围− 10ºC ～ 60ºC / 20 ～ 80％ (无冷凝)*2

■功能
●ABS(Absolute) 测量功能
●INC(增量)测量功能
●调零功能
●预调功能(可设定2个预调值。不可用于SD-G、
SD-AX、SD-D和SDV-D)
●双读数功能(仅可用于SD-F 或SDV-F)
●测量方向切换功能(不可用于SD-E、SDV-E)
●数据保持功能*
●测量值组合错误
●电池低电压警告
●输出功能
* 使用SD-AX、SD-D或SDV-D时，需要一个可选的
保持装置来激活保持功能。同时带输出功能的激
活不可用。SD-G在特定订单中也可用。
* 这些装置采用1.5V氧化银电池作为电源。因此，
当这些装置直接固定在高电压机床框架上时，可
能会出现显示数字错误等故障和错误。用户手册
中给出了解决方法。

LGH-0510-B-EH 542-720光栅式测微仪