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HORIBA堀场HF密度计HF-960EM

更新时间:2020-08-12

简要描述:

HORIBA堀场HF密度计HF-960EM
用于半导体制造工艺的HF浓度计HF-960EM
HF-960EM是使用带有完全润湿部件的传感器作为PFA的型号,并且符合半导体工艺中的清洁度要求。传感器尺寸缩小到极限,实现了节省空间的安装。提高稳定性和重现性准确性,并支持高达50%HF浓度的宽量程。

特征
宽范围设置,HF浓度高达50%
高稳定性/再现性精度
内置温度测量传感器支持高达80℃的HF样品

型号:厂商性质:经销商浏览量:163
品牌其他品牌密度温度范围10℃
密度测量范围1g/cm3最小取样量1ml
密度精度1g/cm价格区间5千-1万
检测类型测液体样品仪器类别实验室台式
行业应用通用密度计仪器种类真密度计
应用领域环保

HORIBA堀场HF密度计HF-960EM

用于半导体制造工艺的HF浓度计HF-960EM

 HF-960EM是使用带有完全润湿部件的传感器作为PFA的型号,并且符合半导体工艺中的清洁度要求。传感器尺寸缩小到极限,实现了节省空间的安装。提高稳定性和重现性准确性,并支持高达50%HF浓度的宽量程。

特征
宽范围设置,HF浓度高达50%
高稳定性/再现性精度
内置温度测量传感器支持高达80℃的HF样品测量。 FS精度达到±0.5%。
自动量程功能
无污染/耐化学腐蚀传感器
清洁结构的传感器,仅使用PFA作为液体接触材料。由于它是一种耐化学腐蚀的传感器,因此可以用于测量半导体工艺中使用的各种化学物质。
小型轻巧的传感器
与我们的传统产品相比,尺寸缩小了2/3,并且重量进一步减轻。通过将其安装在单晶圆喷嘴的前面,可以提高安装空间的灵活性

 

 

仕様

型式

HF-960EM

測定レンジ

HF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 導電率: 0 - 2000 mS/cm

繰り返し性

フルスケールの+/- 0.5% 以内(等価入力にて)

直線性

フルスケールの+/- 0.5% F.S. 以内(等価入力にて)

伝送出力

出力点数:4点

接点出力

出力点数:5点

接点入力

入力点数: 2点

通信機能

RS-485

電源

DC 24 V +/- 10% 15W

適合センサ

CM-520 Series

接液部

PFA

 

 

 

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