HORIBA堀场HF密度计HF-960EM

更新时间：2024-02-13

简要描述：

HORIBA堀场HF密度计HF-960EM
用于半导体制造工艺的HF浓度计HF-960EM
HF-960EM是使用带有*润湿部件的传感器作为PFA的型号，并且符合半导体工艺中的清洁度要求。传感器尺寸缩小到极限，实现了节省空间的安装。提高稳定性和重现性准确性，并支持高达50％HF浓度的宽量程。

特征
宽范围设置，HF浓度高达50％
高稳定性/再现性精度
内置温度测量传感器支持高达80℃的HF样品

型号：厂商性质：经销商浏览量：1060

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品牌	其他品牌	密度温度范围	10℃
密度测量范围	1g/cm3	最小取样量	1ml
密度精度	1g/cm	价格区间	5千-1万
检测类型	测液体样品	仪器类别	台式
行业应用	通用密度计	仪器种类	真密度计
应用领域	环保

HORIBA堀场HF密度计HF-960EM

用于半导体制造工艺的HF浓度计HF-960EM

HF-960EM是使用带有*润湿部件的传感器作为PFA的型号，并且符合半导体工艺中的清洁度要求。传感器尺寸缩小到极限，实现了节省空间的安装。提高稳定性和重现性准确性，并支持高达50％HF浓度的宽量程。

特征
宽范围设置，HF浓度高达50％
高稳定性/再现性精度
内置温度测量传感器支持高达80℃的HF样品测量。 FS精度达到±0.5％。
自动量程功能
无污染/耐化学腐蚀传感器
清洁结构的传感器，仅使用PFA作为液体接触材料。由于它是一种耐化学腐蚀的传感器，因此可以用于测量半导体工艺中使用的各种化学物质。
小型轻巧的传感器
与我们的传统产品相比，尺寸缩小了2/3，并且重量进一步减轻。通过将其安装在单晶圆喷嘴的前面，可以提高安装空间的灵活性

仕様

型式	HF-960EM
測定レンジ	HF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 導電率: 0 - 2000 mS/cm
繰り返し性	フルスケールの+/- 0.5% 以内（等価入力にて）
直線性	フルスケールの+/- 0.5% F.S. 以内（等価入力にて）
伝送出力	出力点数：4点
接点出力	出力点数：5点
接点入力	入力点数： 2点
通信機能	RS-485
電源	DC 24 V +/- 10% 15W
適合センサ	CM-520 Series
接液部	PFA