ORC紫外线照度计/光度计UV-M03A

ORC紫外线照度计/光度计UV-M03A
ORC紫外线照度计/光度计UV-M03A

小巧轻便的手持式测量仪。适用于在制造现场管理配备紫外线灯的设备。 请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量（照度/光量）

小巧轻便的轻便型，可轻松控制曝光设备的照度和光强度。 您可以轻松测量紫外线的照度和数量。 根据您使用的光源（计划使用）和抗蚀剂的灵敏度选择 UV-25、35、42 的接收器。 测量数据可以通过 RS-232C 通讯输出传输。 它还有一个模拟输出

关于 SD 型和 SN 型 SN型已被长期使用我们的曝光设备和辐照设备的客户广泛使用，确保了过程管理的连续性。 SD型用于已经在使用其他公司生产的照度计的客户在半导体和液晶基板的制造过程现场（我们的曝光设备）重视确保与这些测量仪器的数据兼容性。但是，SD型是用于投影式曝光设备和液晶基板周边曝光设备），推荐给使用全新照度计的客户。 ◆ 关于 SD 型和 SN 型指示值 SN 型测量 SD 型读数（高压紫外灯的 365 nm 照度线作为我们测量组在相同测量条件下校准的辐射源，以确保旧过程数据的兼容性。它进行了调整，以便它比显示时显示的照度值高 39%（以 mW/cm2 显示）。 ◆ 关于与其他公司生产的照度计的数据兼容性 与可见光照度计（以LUX为单位测量家庭、办公室、商店、博物馆等亮度的照度计）不同，适用于所有紫外线照度计的标准尚未建立（似乎转换工作JIS 正在执行的用途非常有限）。 即使是为了测量主要由 365 nm 发射组成的光源的照度，每个公司的相对光谱灵敏度也从测量的峰值波长（其相对光谱灵敏度特性用 1 表示的波长）开始短波侧（300nm～310nm左右）和长波侧（380nm～400nm左右）的上升和下降波长及其前后曲线略有不同。 尽管在设计方面正在努力使接收器的光接收角特性，即COSθ特性更接近理想曲线，但现实是尚未实现