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日本canon-anelva真空计M-351PG

更新时间:2021-06-03

简要描述:

日本canon-anelva真空计M-351PG
ピラニゲージ(耐蝕型) M-351PG(真空計)
ピラニゲージ(耐蝕型) M-351PG

型号:厂商性质:经销商浏览量:246
品牌其他品牌货号M-351PG
规格1供货周期一个月以上
主要用途真空计应用领域环保,电子,电气
精度(Pa)±50%:5×10-2 ~ 1×10-1

日本canon-anelva真空计M-351PG

日本canon-anelva真空计M-351PG

ピラニゲージ(耐蝕型) M-351PG(真空計)

ピラニゲージ(耐蝕型)  M-351PG

 该机型采用镍丝提高耐腐蚀性能,兼容RIE、CVD等硬工艺设备

 特征 提高耐腐蚀性 采用镍丝等 重现性好,价格低廉 大气压从 5 × 10-2 Pa 用 半导体和电子器件制造设备 干蚀刻设备、等离子CVD设备、LD-CVD设备等。 食品/医药制造设备 真空冷冻干燥、真空蒸馏设备、杀菌设备等

 

仕様

型 名M-351PG-SP
(Niフィラメント仕様)(セットポイント付タイプ)
測定圧力範囲5×10-2~1×105(Pa)
精度(Pa)±50%:5×10-2 ~ 1×10-1
±15%:1×10-1 ~ 1×104
±50%:1×104 ~ 1×105
再現性±2% : 1×10-1 ~ 1×104Pa
入力電圧DC+14~30V
消費電力2W
アナログ出力0~10V
ゲージ認識抵抗値13KΩ(D-sub5-9番ピン間)
セットポイント2接点出力(1A30V,DC)
インターフェース
入出力コネクタD‐sub9ピン
最大ケーブル長200m(0.34mm2)対応可能*1
使用温度範囲5~60℃
保存温度範囲-20~70℃(非動作時)
ベーキング温度<+150℃(Oリング仕様、ゲージヘッドのみ)
<+300℃(メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ)
許容過負荷圧力1MPa(継手形状NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧)
適合ピラニセンサ型名MP-2
フランジ形状NW16、NW25、1/8NPT
センサー材質(主要部)ピラニフィラメント:ニッケル
センサーチューブ:ステンレス
導入端子絶縁部:コバールガラス+Al2O3コート
対応CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40

*1)M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100mとなります。

 

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