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18511227625更新时间：2025-09-19
日本canon-anelva真空计M-351PGピラニゲージ（耐蝕型） M-351PG（真空計）ピラニゲージ（耐蝕型） M-351PG
| 品牌 | 其他品牌 | 货号 | M-351PG |
|---|---|---|---|
| 规格 | 1 | 供货周期 | 一个月以上 |
| 主要用途 | 真空计 | 应用领域 | 环保,电子/电池,电气 |
| 精度（Pa） | ±50％：5×10-2 ～ 1×10-1 |
日本canon-anelva真空计M-351PG
日本canon-anelva真空计M-351PG
该机型采用镍丝提高耐腐蚀性能，兼容RIE、CVD等硬工艺设备
特征 提高耐腐蚀性 采用镍丝等 重现性好，价格低廉 大气压从 5 × 10-2 Pa 用 半导体和电子器件制造设备 干蚀刻设备、等离子CVD设备、LD-CVD设备等。 食品/医药制造设备 真空冷冻干燥、真空蒸馏设备、杀菌设备等
| 型 名 | M-351PG-SP （Ｎｉフィラメント仕様）（セットポイント付タイプ） |
|---|---|
| 測定圧力範囲 | 5×10-2～1×105（Pa） |
| 精度（Pa） | ±50％：5×10-2 ～ 1×10-1 ±15％：1×10-1 ～ 1×104 ±50％：1×104 ～ 1×105 |
| 再現性 | ±2％ ： 1×10-1 ～ 1×104Pa |
| 入力電圧 | DC+14～30V |
| 消費電力 | 2W |
| アナログ出力 | 0～10V |
| ゲージ認識抵抗値 | 13KΩ（D-sub5-9番ピン間） |
| セットポイント | 2接点出力（1A30V,DC） |
| インターフェース | － |
| 入出力コネクタ | D‐sub9ピン |
| 最大ケーブル長 | 200ｍ（0.34mm2）対応可能＊1 |
| 使用温度範囲 | 5～60℃ |
| 保存温度範囲 | -20～70℃（非動作時） |
| ベーキング温度 | ＜＋150℃（Oリング仕様、ゲージヘッドのみ） ＜＋300℃（メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ） |
| 許容過負荷圧力 | 1MPa（継手形状NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧） |
| 適合ピラニセンサ型名 | MP-2 |
| フランジ形状 | NW16、NW25、1/8NPT |
| センサー材質（主要部） | ピラニフィラメント：ニッケル センサーチューブ：ステンレス 導入端子絶縁部：コバールガラス＋Al2O3コート |
| 対応 | CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40 |
＊1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。
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