日本canon-anelva真空计M-833HG

更新时间：2024-02-15

简要描述：

日本canon-anelva真空计M-833HG
宽范围电离真空计 M-833HG（真空计）宽范围电离真空计 M-833HG

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日本canon-anelva真空计M-833HG

宽范围电离真空计 M-833HG（真空计）宽范围电离真空计 M-833HG

M-833HG 是专用于微型 B-A 仪表的控制单元。作为选项，可以使用支持各种仪表和数据输出的扩展板。通过组合微型 B-A 真空计和 TC 真空计（可选）并安装自动切换真空计的自动灯丝，可以实现从大气压到超高真空的高精度真空测量。非常适合将高真空安装到超高真空设备

特征具有丰富的外部控制功能，可实现*远程控制标配 2 个设定点最多可安装 4 个可选板以增强功能扩展性（注：不支持 GP-IB 选项）符合 CE 标志和 RoHS（9 类）用自动化真空设备的压力测量溅射等工艺压力的测量和控制多室系统中的压力测量一般真空设备的压力测量

型　名	M-833HG
測定球	ミニチュアゲージMG-2シリーズ
圧力表示範囲	0.1×10^-7～1.32×10¹Pa ^※1
圧力表示	測定レンジ自動切換
セットポイント	2点標準装備（オープンコレクタ）
D/A出力	0～10V：仮数部出力、指数部出力 0～11V：複合出力又はLog出力
アナログ出力（エレクトロメータ出力）	APCモード設定時（0.1～2.5V）ノーマルモード設定時（0.1～1.6V）
外部制御機能（リモート操作）	INPUT	フィラメントON/OFF デガスON/OFF 等6種類の外部制御機能
外部制御機能（リモート操作）	OUTPUT	6種類のステータス信号出力
特殊機能	APC対応：レンジホールド機能エレクトロメータ出力機能
外形寸法（mm）・質量	H99×W209×D330、1.9kg（オプションボード未装着時）
所要電力	100～240VAC ^※2 100VA以下、50／60Hz
エミッション電流	10μA、100μA、1mA自動切換設定または固定設定
ガス出し	グリッド通電加熱方式
フィラメント切換	キー及び、リモートI/O操作
フィラメント保護	オーバーレンジ設定値またはエミッション電流±50%の変動
標準構成	真空計本体（測定球及びケーブルは構成品に含まれません）
対応	CEマーキング、RoHS (Category9)

测量范围参见测量球MG-2部分。 * 2 M-833HG 附带的 AC 电缆为 100V。使用200V时请联系我们

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