M-320XG真空计canon-anelva

更新时间：2025-09-19

简要描述：

M-320XG真空计canon-anelva
クリスタルゲージ M-320XG（真空計）
クリスタルゲージ M-320XG

型号：厂商性质：经销商浏览量：982

M-320XG真空计canon-anelva

可在从大气压到 1 x 10-2 Pa 的广泛范围内进行高度可靠的测量。由于晶体振荡器的谐振阻抗根据压力而变化，因此重现性更高，可以在大气压附近进行高稳定性的测量。它可用作压力开关，用于检测腔室中的大气压力通风口，也可用于测量过程压力

特征测量范围广从大气压到 1 x 10-2 Pa 范围内的测量具有出色的再现性。安全性高水晶真空计是一种没有热源（灯丝）的真空计。紧凑且超轻控制器只有手掌大小，仅重 200 克

用各种真空装置的粗加工压力测量各种过程的压力测量用于检测腔室通风口等的压力开关。从大气压到10-2P*别的其他压力测量

型　名	M-320XG
測定球	XG-1クリスタルゲージヘッド（クリスタルゲージ専用）
測定圧力範囲	1×10^-2Pa～大気圧
Gas種選択	N2、Ar、H2、Air
アナログ出力（圧力信号）	DC 0-10V：デジットスイッチにより下記項目出力形式設定 ①Log出力 ②複合出力 ③リニア出力　フルスケール圧力レンジ選択可能（1×10¹、1×10²、1×10³、1×10⁴、1×10⁵Pa）
リモートI/O	INPUT	①ガス種設定　2bit信号で切換 ②ゼロ点調整 ③ATM設定
リモートI/O	OUTPUT	セットポイント出力2点
セットポイント	2点（フォトカプラ出力、ヒステリシス固定）デジットスイッチにより設定（SP1、SP2共仮数部、指数部）
動作環境	5℃～50℃（コントローラー含む）ゲージヘッドのみの耐熱温度150℃MAX
ゼロ点調整	PUSHスイッチ又は、リモートI/O入力によるソフトウェアゼロ調整
フルスケール調整	トリマーボリュームによる調整
入出力コネクタ	Dsub 15P
表示	LED 3ヶ（PWR／ALM･･･緑／赤の2色発光、SP1-Status･･･緑、SP2-Status･･･緑）
所要電力	DC 22V～33V、（最大消費電力2W）
外形寸法（mm）	72.5H×102W×44.5D（ゲージヘッド含まず）
質量	200g（ゲージヘッド含まず）
センサー取り付けフランジ	NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等

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