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18511227625更新时间：2024-02-15
日本canon-anelva M-350PG真空计电容计 M-342DG（真空计） 电容计 M-342DG
| 品牌 | 其他品牌 | 货号 | M-350PG |
|---|---|---|---|
| 规格 | 1 | 供货周期 | 一个月以上 |
| 主要用途 | 真空计 | 应用领域 | 环保,电子,电气 |
| 测量精度 | 0.20(at 23℃) |
日本canon-anelva M-350PG真空计
日本canon-anelva M-350PG真空计
电容计 M-342DG（真空计） 电容计 M-342DG
电容式压力计“M-342DG”压力传感器采用小型硅MEMS芯片，将温度、振动、大气压力波动等外界环境的影响降至，从而实现高精度和稳定的压力测量。它是一种隔膜压力实现最小调零频率的仪表
特征 高精度和稳定的压力测量 ・ 优异的零点稳定性 ・ 低温度依赖性和出色的稳定性，无需温度控制机制 ・ 优异的抗振噪音性能 紧凑和低功耗 -重量为 200 克，尺寸为 W46 毫米 x H49 毫米 x L106 毫米 (* 1) ・ 功耗 0.5W * 1 质量和尺寸适用于接头 NW16 规格。 用 支持各种高精度、长期稳定的真空压力测量 各种真空器件，如半导体、显示器、太阳能电池等。 ・ 真空成膜过程压力控制和监测，如溅射和PECVD ・负载锁定室、晶圆冷却等气体导入工序、系统压力控制 医疗、生物科技、食品等行业，以及各种研发应用 各种镀膜、等离子处理、真空密封、真空炉、分析仪、杀菌、真空泵评价、分子蒸馏等
| 型名 | M-342DG | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| -1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
| フルスケール圧力（Pa） | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
| 測定精度（％ of reading） | 0.20(at 23℃) | ||||
| ゼロ点温度係数（％ of F.S./℃） | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
| スパン温度係数（％ of reading/℃） | 0.01 | 0.005 | |||
| 分解能（％ of Full-scale） | 0.01 | 0.005 | |||
| 測定下限圧力（％ of Full-scale） | 0.01 | ||||
| 実用測定下限圧力（％ of Full-scale） | 0.05 | ||||
| 実用制御下限圧力（％ of Full-scale） | 0.5 | ||||
| 応答速度（ms） | 100 | 30 | |||
| 加圧上限 | 200kPa(但しNW16、NW25のものは内部が陽圧にならないこと) *13.33Pa仕様は130kPa | ||||
| 電源電圧（VDC） | +13.5～26.4 | ||||
| 消費電力（W） | 0.5 | ||||
| アナログ出力（VDC） | 0～10 | ||||
| 使用温度/保管温度（℃） | 0～50/-20～70(非動作時) | ||||
| 最大ケーブル長（m） | 100(専用ケーブル) | ||||
| ゼロ点調整方法 | プッシュスイッチ、リモート入力 | ||||
| 入出力コネクタ | D-sub9ピン(オス) | ||||
| 接ガス部材質 | SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム | ||||
| フランジﾞ形状と質量 | NW16(200ｇ)、NW25(210ｇ)、8-VCR メス(250ｇ)、φ70ICF(460ｇ) | ||||
| 対応 | CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40 | ||||
| 安全保障貿易管理規制 | 非該当 | ||||
| 対応表示器 | M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ) | ||||
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