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日本canon-anelva M-350PG真空计

更新时间:2021-06-02

简要描述:

日本canon-anelva M-350PG真空计
电容计 M-342DG(真空计) 电容计 M-342DG

型号:厂商性质:经销商浏览量:205
品牌其他品牌货号M-350PG
规格1供货周期一个月以上
主要用途真空计应用领域环保,电子,电气

日本canon-anelva M-350PG真空计

日本canon-anelva M-350PG真空计

 电容计 M-342DG(真空计) 电容计 M-342DG

 电容式压力计“M-342DG”压力传感器采用小型硅MEMS芯片,将温度、振动、大气压力波动等外界环境的影响降至,从而实现高精度和稳定的压力测量。它是一种隔膜压力实现最小调零频率的仪表

 

 特征 高精度和稳定的压力测量 ・ 优异的零点稳定性 ・ 低温度依赖性和出色的稳定性,无需温度控制机制 ・ 优异的抗振噪音性能 紧凑和低功耗 -重量为 200 克,尺寸为 W46 毫米 x H49 毫米 x L106 毫米 (* 1) ・ 功耗 0.5W * 1 质量和尺寸适用于接头 NW16 规格。 用 支持各种高精度、长期稳定的真空压力测量 各种真空器件,如半导体、显示器、太阳能电池等。 ・ 真空成膜过程压力控制和监测,如溅射和PECVD ・负载锁定室、晶圆冷却等气体导入工序、系统压力控制 医疗、生物科技、食品等行业,以及各种研发应用 各种镀膜、等离子处理、真空密封、真空炉、分析仪、杀菌、真空泵评价、分子蒸馏等

 

 

型名M-342DG
-1D-1N-11-12-13
フルスケール圧力(Pa) 13.33 133.31.333k13.33k133.3k
測定精度(% of reading)0.20(at 23℃)
ゼロ点温度係数(% of F.S./℃)0.010.0050.002
スパン温度係数(% of reading/℃)0.010.005
分解能(% of Full-scale)0.010.005
測定下限圧力(% of Full-scale)0.01
実用測定下限圧力(% of Full-scale)0.05
実用制御下限圧力(% of Full-scale)0.5
応答速度(ms)10030
加圧上限200kPa(但しNW16、NW25のものは内部が陽圧にならないこと)
*13.33Pa仕様は130kPa
電源電圧(VDC)+13.5~26.4
消費電力(W)0.5
アナログ出力(VDC)0~10
使用温度/保管温度(℃)0~50/-20~70(非動作時)
最大ケーブル長(m)100(専用ケーブル)
ゼロ点調整方法プッシュスイッチ、リモート入力
入出力コネクタD-sub9ピン(オス)
接ガス部材質SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム
フランジ゙形状と質量NW16(200g)、NW25(210g)、8-VCR メス(250g)、φ70ICF(460g)
対応CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40
安全保障貿易管理規制非該当
対応表示器M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ)

 

 

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