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18511227625更新时间：2024-02-15
kdn京都电机器SAT-56S/SAT-56D脉冲电源溅射用直流脉冲电源DC出力及びパルス出力が可能出力のパルス化により、異常放電を軽減
| 品牌 | 其他品牌 | 货号 | SAT-56S |
|---|---|---|---|
| 规格 | 1 | 供货周期 | 一个月以上 |
| 主要用途 | SAT-56D | 应用领域 | 环保,电子,电气 |
| 电压 | AC180V?AC480V |
kdn京都电机器SAT-56S/SAT-56D脉冲电源
kdn京都电机器SAT-56S/SAT-56D脉冲电源
スパッタリング用DCパルス電源
特征 可直流输出和脉冲输出 输出脉冲减少异常放电 配备碳化硅器件 通过使用 SiC 元件实现理想的方波脉冲输出 另外，装置的模块化实现了紧凑化和高效率化。 减少基板和阴极损坏 异常放电时高速关断，减少电弧放电造成的损坏
内部单元之间的同步 可以在内部单元之间进行同步/异步选择 可以控制同步和相移
| ラインナップ | SAT-56S | SAT-56D | |
|---|---|---|---|
| 入力仕様 | 入力電圧 | AC180V〜AC480V | AC180V〜AC480V |
| 相数・周波数 | 3相3線 50/60Hz | 3相3線 50/60Hz | |
| 入力電流 | 40Amax | 20Amax | |
| 入力容量 | 12kW | 6kW | |
| 出力仕様 | 出力波形 | DC及び矩形波パルスの選択が可能 | DC及び矩形波パルスの選択が可能 |
| 接地 | プラス端子接地によるマイナス出力 | プラス端子接地によるマイナス出力 | |
| 定格電力 | 5kWmax×2 | 5kWmax | |
| 定格電圧 | -650Vmax | -650Vmax | |
| 定格電流 | 15.4Amax | 15.4Amax | |
| 制御方式 | 定電力・定電流・定電圧制御 | 定電力・定電流・定電圧制御 | |
| 出力精度 | 定電力・定電流・定電圧の各モードで、実測値が設定値の±1%以内 若しくは、フルスケールに対して0.2%のいずれか大きい方 | 定電力・定電流・定電圧の各モードで、実測値が設定値の±1%以内 若しくは、フルスケールに対して0.2%のいずれか大きい方 | |
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