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kdn京都电机器SAT-56S/SAT-56D脉冲电源

更新时间:2021-06-01

简要描述:

kdn京都电机器SAT-56S/SAT-56D脉冲电源
溅射用直流脉冲电源
DC出力及びパルス出力が可能
出力のパルス化により、異常放電を軽減

型号:厂商性质:经销商浏览量:213
品牌其他品牌货号SAT-56S
规格1供货周期一个月以上
主要用途SAT-56D应用领域环保,电子,电气
电压AC180V?AC480V

kdn京都电机器SAT-56S/SAT-56D脉冲电源

kdn京都电机器SAT-56S/SAT-56D脉冲电源

 

スパッタリング用DCパルス電源

SAT-56S/SAT-56D

 特征 可直流输出和脉冲输出 输出脉冲减少异常放电 配备碳化硅器件 通过使用 SiC 元件实现理想的方波脉冲输出 另外,装置的模块化实现了紧凑化和高效率化。 减少基板和阴极损坏 异常放电时高速关断,减少电弧放电造成的损坏

 内部单元之间的同步 可以在内部单元之间进行同步/异步选择 可以控制同步和相移

 

ラインナップSAT-56SSAT-56D
入力仕様入力電圧AC180V〜AC480VAC180V〜AC480V
相数・周波数3相3線 50/60Hz3相3線 50/60Hz
入力電流40Amax20Amax
入力容量12kW6kW
出力仕様出力波形DC及び矩形波パルスの選択が可能DC及び矩形波パルスの選択が可能
接地プラス端子接地によるマイナス出力プラス端子接地によるマイナス出力
定格電力5kWmax×25kWmax
定格電圧-650Vmax-650Vmax
定格電流15.4Amax15.4Amax
制御方式定電力・定電流・定電圧制御定電力・定電流・定電圧制御
出力精度定電力・定電流・定電圧の各モードで、実測値が設定値の±1%以内
若しくは、フルスケールに対して0.2%のいずれか大きい方
定電力・定電流・定電圧の各モードで、実測値が設定値の±1%以内
若しくは、フルスケールに対して0.2%のいずれか大きい方

 

 

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