高分辨率线性传感器 
GS-3813B / 3830B

分辨率0.1 Myuemu

• 日本小野高分辨率线性传感器GS-3813B
• 日本小野高分辨率线性传感器GS-3813B

左：GS-3830B 
右：GS-3813B

而GS-3813B / 3830B是亚微米线性量规传感器，具有防尘和优异的轴承和IP66G耐久性的防滴性能，这是由自动机对应于所述在线测量高分辨率线性量规传感器。

滚珠花键轴承的采用和新光学系统的开发使得实现高分辨率和环境性能成为可能。

检测信号可以用方波输出（线路驱动器输出）提取，因此可以直接连接到PLC。

GS-3813B / 3830B线性传感器与DG-5100数字仪表计数器配合使用

DG-5100数字仪表计数器

DG-5100是一款输入频率为3 MHz的高速计数器。
通过采用选件卡，可以以低成本实现比较器功能，模拟输出功能，RS-232C通信功能等必要功能。

详情产品介绍 

特点

■与传统产品相比，可以进行更的测量
（分辨率10倍1μm→0.1μm）

■轴承寿命比传统产品长3倍
（测量操作500万次→1500万次）

■与传统产品相比，增强了
防尘，防水，防油性能（防护结构IP64→IP66G）

■振动和冲击性能是传统产品的两倍
（抗振性98 m / s ²，耐冲击性980 m / s ² →抗振性196 m / s ²，耐冲击性1960 m / s ²）

应用实例

高精度测量光学系统中使用的玻璃部件，如激光

激光设备等的玻璃部件在抛光过程中用接触式高精度线性规进行尺寸检查，以确保中间过程的精度，并在终过程中送到光学检查过程。

硅片厚度测量，精度为1μm

使用高精度线性传感器，测量硅晶片的厚度，精度为1μm。ST-0230量规支架适用于小于4英寸的小型晶圆。

高精度厚度测量翘曲材料，如硅片

它地测量具有类似硅晶片的翘曲的板状材料的厚度。为了不受翘曲的影响，请使用一个特殊的支架，其结构接收GS-3813B测量传感器的测量元件与“凸透镜”碰撞的部分，并用销钉支撑其他四个点。
通过将GS-3813B测量传感器的传感器中心与凸透镜的中心对齐，可以在几乎不受翘曲影响的情况下测量厚度。可以通过RS-232C接口将测量数据加载到PC中来执行诸如统计处理之类的二次数据处理。

大纲规范

※1使用我们的仪表计数器时，括号中的数值是使用DG-5100时的电气响应速度。 
※2横向（10°C以下）或以上使用时，主轴可能无法*返回。 
※3这是改造时能够向上使用的变更范围。（数值是向下方向的测量功率） 
* 4测量期间的振动和冲击阻力不保证所述值。 
* 5如果在中间断开或修改信号电缆，CE标记不符合要求。